FAP - Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
- Ansprechpartner:
Herr Dr. Jürgen Kuske Geschäftsführer
Herr Dr. Matthias Albert Geschäftsführer
Herr Dr. Olaff Steinke Prokurist
- Kurzinformation:
Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Plasmatechnik, Erzeugung und Charakterisierung von HF-Gasentladungen und deren Anwendung zur plasmatechnischen Oberflächenbearbeitung, Applikation im nichtelektronischen Bereich
RF/VHF - PECVD / Plasmapolymerization Systems; Plane parallelplate, coaxial and line systems for 13,56 to 80 MHz; substrate area/width up to 1m² and 1,5m; Upgrading used systems; Services: RF power engineering, MFC
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TZ-S Administrator
TechnologieZentrumDresden GmbH (kunadt@tzdresden.de)